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             超精密機(jī)械加工技術(shù)在微光學(xué)元件制造中的應(yīng)用

導(dǎo)讀： 超精密機(jī)械加工技術(shù)是利用刀具改變材料形狀或破壞材料表層，以切削形式來達(dá)到所要求的形狀。如單晶金剛石車削與銑削、磨削、快速切削和機(jī)械拋光等。

　　1微光學(xué)概述

　　1.1定義與名稱

　　微光學(xué)是一門屬于多門前沿學(xué)科交叉領(lǐng)域的新興科學(xué)。微光學(xué)借助于微電子工業(yè)技術(shù)的最新研究成果，是國際上最前沿研究方向之一，并具有廣泛的應(yīng)用前途。

　　微光學(xué)元件(MOC)，指面形精度可達(dá)亞微米級，表面粗糙度可達(dá)納米級的自由光學(xué)曲面及微結(jié)構(gòu)光學(xué)元件。自由光學(xué)曲面包括有回轉(zhuǎn)軸的回轉(zhuǎn)非球面(如拋物面、漸開面等)，和沒有任何對稱軸的非回轉(zhuǎn)非球面。

　　微結(jié)構(gòu)是指具有特定功能的微小表面拓?fù)湫螤?，如凹槽、微透鏡陣列等，如圖1所示的微金字塔結(jié)構(gòu)表面。